금속 유기 화합물 기상 증착(MOCVD) 장비는 LED 반도체 에피택시 분야에서 핵심 장비로, 히터는 그 핵심 구성 요소 중 하나입니다. MOCVD는 유기 금속 분해 반응을 활용한 화학 기상 증착 기술로, 박막의 기상 에피택시 성장을 가능하게 합니다. 다성분, 대면적, 박막 및 초박막의 화합물 반도체 재료를 성장시키기 위해서는 시스템의 기밀성, 유량, 빠른 조성 변화 외에도 반응 챔버의 온도 제어가 MOCVD 장비에서 가장 중요한 고려 사항입니다. MOCVD 챔버의 온도 제어 정밀도는 0.2°C 이상에 도달해야 하며, 높은 온도장 균일성 또한 제품 수율을 보장하는 중요한 요소입니다. 텅스텐, 몰리브덴, 레늄, 세라믹과 같은 당사의 고성능 재료는 모두 발열 와이어, 열 차폐막, 전도성 기둥과 같은 핵심 히터 구성 요소에 필수적인 재료입니다.