Heat Shield for MOCVD Heaters
Product Introduction
텅스텐과 몰리브데넘은 높은 융점, 우수한 고온 성능, 낮은 비저항, 그리고 작은 열팽창 계수를 특징으로 합니다.
압연 후 플레이트는 이론적 밀도에 근접하게 되며, 적절한 처리를 거치면 표면이 거울 상태에 가까워집니다. 이는 뛰어난 열 반사 성능과 고온 크리프 저항성을 나타내며, 휘발성은 매우 적습니다.
Product Application
MOCVD 장비는 온도 균일성과 안정성 측면에서 매우 높은 요구 사항을 갖습니다. 텅스텐-몰리브데넘 열 차폐의 다층 차폐 기능은 MOCVD 장비에 균일한 반응 온도필드를 제공합니다.
Product Specifications
다양한 유형의 MOCVD 장치용 예비 부품을 선택할 수 있으며 특정 온도 필드 설계에 따라 맞춤 제작도 가능합니다.
Fabrication Process
